往复式真空泵(又称活塞式真空泵)属于低真空获得设备，用以从内部压力等于或低于一个大气压的容器中抽除气体，被抽气体的温度一般不超过35℃。往复泵的极限压力，单级为4×102～103Pa，双级可达1Pa。它的排气量较大，抽速范围15～5500L/S。
往复泵多用于真空浸渍、钢水真空处理、真空蒸馏、真空结晶、真空过滤等方面抽除气体。
往复式真空泵对于抽除腐蚀性或含有颗粒状灰尘的气体是不适用的。被抽气体中如果含有灰尘，在泵的进口1处必须加装过滤器。
往复式真空泵工作原理
往复泵的工作原理，如图2所示。泵的主要部件是气缸1及在其中做往复直线运动的活寨2。活寨的驱动是用曲柄连杆机构3来完成的。除上述主要部件外还有排气阀4和吸气阀5。
图2 往复式真空泵工作原理图
泵运转时，在电动机的驱动下，通过曲柄连杆机构的作用，使气缸内的活塞做往复运动。当汪室在等舸内从存端向右端话动时。由于气缸的左腔体积不断增大，气缸内气体的密度减少，而形成抽气过程，此时容器中的气体经过吸气阀5进入泵体左腔。当活塞达到右侧位置时，气缸内就完全充满了气体。接着活塞从右端向左端运动，此时吸气阀5关闭。气缸内的气体随着活塞从右向左运动而逐渐被压缩，当气缸内气体的压强达到或稍大于一个大气压时，排气阀4被打开，将气体排到大气中，完成一个工作循环。当活塞再自左向右运动时，又吸进一部分气体，重复前一循环，如此反复下去，直到被抽容内的气体压力达到要求时为止。
在实际应用中，为了提高抽气效率，泵多半采用双作用气缸，即活塞能在两个方向(往复)上同时进行压缩和抽气，这主要是依靠配气阀门来实现的。国产的w型往复泵即是单级的双作用泵。
往复式真空泵按结构分类
往复泵有干式往复泵和湿式往复泵之分。干式泵只能抽气体，湿式泵可抽气体和液体的混合物。二者在结构方面没有什么原则性的不同，只是湿式泵内的死空间和配气机构的尺寸比干式泵大一些，因此湿式泵的极限压力要比干式泵的高。往复泵有卧式和立式两种型式(国产为W和WL型)。立式泵从结构和性能上较为先进，它是卧式泵的更新换代产品。如国产的WL系列立式泵与老式W型卧式泵相比，有如下优点：
(1)功率消耗平均减少1/3，节能显著：例如，原W5功率为22KW，而WL-200为15KW;原W4为11KW，而WL-100为7.5KW。
(2)占地面积平均减少2/3：如原W5型占地为3.8m2，而WL-200为1.2m2。
(3)振动降低：WL系列泵消除了横波劣性振动，噪声平均降低5dB以上。
(4)使用寿命长：立式泵由于结构合理，受力均匀，使得各运动部位磨损减轻。